使用四轴电机的高精度控制校准台。可以使用X和Y轴线性运动和θ运动。
它由直径为25 mm的轴电机组成（S250DS型号）。通过对每个轴使用0.001μm（1nm）的高分辨率线性标度，实现0.1um或更小的可重复性。 （X轴：±0.078μm，Y轴：±0.049μm）
它通过使用NPM的PCL6045BL（LSI）和Panasonic驱动器组合独立控制板来控制。
特点
- 高速驱动（轻击）
- 高精度定位操作（全闭环控制）
- 无与伦比的速度稳定性
- 快速安置（高响应）
- 由于形状相似，易于更换滚珠丝杠机构
- 可以在单个轴上驱动多个推进器
- 具有单个驱动程序的同步并行驱动器
- 由于非接触式结构（降低维护成本），具有出色的耐用性
- 低尘生成
- 可用于水，油，污染和灰尘等恶劣环境
- 安静