使用四轴电机的高精度控制校准台。可以使用X和Y轴线性运动和θ运动。
它由直径为25 mm的轴电机组成(S250DS型号)。通过对每个轴使用0.001μm(1nm)的高分辨率线性标度,实现0.1um或更小的可重复性。 (X轴:±0.078μm,Y轴:±0.049μm)
它通过使用NPM的PCL6045BL(LSI)和Panasonic驱动器组合独立控制板来控制。
特点
- 高速驱动(轻击)
- 高精度定位操作(全闭环控制)
- 无与伦比的速度稳定性
- 快速安置(高响应)
- 由于形状相似,易于更换滚珠丝杠机构
- 可以在单个轴上驱动多个推进器
- 具有单个驱动程序的同步并行驱动器
- 由于非接触式结构(降低维护成本),具有出色的耐用性
- 低尘生成
- 可用于水,油,污染和灰尘等恶劣环境
- 安静