采用线性磁轴电机，实现了高精度，超低振动，超薄（30毫米）XY载物平台。
特点
- 超薄载物平台厚度30毫米
- 开放式框架结构
- XY移动量45/30mm行程
- 使用FMAX-4X-2D来进行操纵杆操作
- 定位分辨率0.05微米
- 高速控制 最高速度200mm/sec（4 Mpps）
- 无与伦比的静音
- 平铺时的贴合也高精度
线性磁轴电机特性
- 高速动作
- 高精度定位（全闭环控制）
- 无与伦比的速度稳定性
- 高速整定（高响应）
- 容易和滚珠丝杠机构进行替换。
- 可在1个轴置放多个可动子来进行多轴驱动
- 可使用1个驱动器来实现多个同步的并行驱动
- 非接触式电机，耐用性更好（维护成本更低）
- 尘埃少
- 在水、油、污染、粉尘等恶劣环境中也可以使用