非常低的压力可实现高精度压力控制。下部的机构使用小型DD电机以高分辨率对齐。
特点
- 精确的加压控制，公差为0.05 N（5 g）（本演示装置）
- 通过电流的加压变化是线性的
- 定位精度高，分辨率为0.001至0.05μm
- 可以根据轴马达的型号改变压力。
- 使用DD电机（108,000 CPR）对下部机构进行高精度旋转控制
产品成分
轴马达：S3250SS（轴径：25mm）
司机：松下MINAS A6L
编码器：雷尼绍Resolute绝对值0.05μm
：松下串行协议
DD电机：MDS / MDH-3018-108KE