可以高精度地控制从极低压到高压的加压。
它是一种混合型高精度加压控制装置，具有前所未有的线性轴电机和气动伺服。
特点
- 精确加压控制，1 N（公差±0.045％）至200 N（公差±0.855％）（本演示系统）
- 最大压力250 N可通过使用额定推力为17 N的直线轴电机与气缸组合来控制。
- 分辨率为0.05μm的定位精度
- 根据轴马达和气缸的组合，可以控制不同区域的加压。
- 由于可以取消垂直轴电动机的重量，因此可以使电动机小型化并且可以极大地抑制线圈发热。
- 关于整合/单元化的提案
产品成分
轴电机：S250SS（轴径：25 mm）
控制器：Panasonic MINAS A6L
编码器：Renishaw Resolute绝对0.05μm/ Panasonic串行协议